Электрофизические методы исследования МДП-структур: Учебно-методические материалы

Настоящие учебно-методические материалы являются дополнением к учебному пособию ''Физика и метрология МДП-структур'' (Воронеж. Изд-во ВГУ, 1997), в котором изложены физические основы теории структур металл-диэлектрик-полупроводник, методы анализа равновесных характеристик и неравновесных процессов, свойства и методы исследования МДП-структур, составляющих основу элементной базы твердотельной электроники. Эффективным средством исследования таких структур являются электрофизические методы, анализу и практической реализации которых и посвящено настоящее пособие. Особое внимание в пособии обращено на корректность применимости методов и интерпретацию получаемых результатов, поскольку обеспечивая высокую чувствительность, электрофизические измерения дают лишь косвенную информацию об исследуемом объекте. Материалы пособия подготовлены для практических занятий по спецкурсам ''Физика МДП-структур'' и ''МДП-приборы'', которые читаются для студентов, обучающихся по специальности ''Микроэлектроника и полупроводниковые приборы'', однако могут представлять интерес и для студентов других физических специальностей